民國114年 第3梯次 化學丙級 學科
第38題
下列真空裝置何者屬於高度真空泵,若使用液氨為冷卻液,可達超高度真空
題目
下列真空裝置何者屬於高度真空泵,若使用液氨為冷卻液,可達超高度真空
- (1) 魯氏真空泵
- (2) 蒸汽噴射器
- (3) 油擴散泵
- (4) 往復式真空泵
官方答案
(3) 油擴散泵
解析
油擴散泵屬高真空泵，搭配液氨（或液氮）冷卻冷阱可達超高真空。其原理為加熱擴散泵油使其汽化，油蒸氣向下噴射帶走氣體分子，再由前級泵抽除，可達10⁻⁵～10⁻⁷ Pa，屬高真空至超高真空設備；設置液氨冷卻冷阱可凝結油蒸氣並捕集殘氣，進一步達超高真空。魯氏（羅茨）泵屬中真空；蒸汽噴射器與往復式真空泵多屬粗或中真空。故選3。
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