民國97年 第2梯次 化工丙級 學科
第42題
半導體所需的矽是以何種還原方法獲得?
題目
半導體所需的矽是以何種還原方法獲得?
- (1) 用焦煤還原S i O
- (2) 用鎂還原S i O
- (3) 用H 還原 S i C l
- (4) 用鎂還原S i C l
官方答案
(3) 用H 還原 S i C l
解析
半導體級矽純度須達 9N 以上,製程採西門子法:先將冶金級粗矽與氯化氫反應生成三氯矽烷(SiHCl₃),經蒸餾純化後,再以氫氣在高溫下還原,析出高純度多晶矽。選項 3 所述即為以氫還原氯化矽的作法。至於以焦煤還原二氧化矽,只能得到純度約 98~99% 的冶金級矽,仍含大量雜質,不能直接用於半導體;以鎂還原則常用於鈦、鋯等金屬的製備,並非矽的工業純化方法。
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