民國97年 第3梯次 鑄造甲級 學科
第37題
掃瞄式電子顯微鏡( S E M ) 要觀察表面光滑及高倍率的試樣,應選擇
題目
掃瞄式電子顯微鏡( S E M ) 要觀察表面光滑及高倍率的試樣,應選擇
- (1) 工作距離大
- (2) 工作距離小
- (3) 光圈小
- (4) 光圈大
官方答案
(2) 工作距離小
解析
SEM 的解析度與工作距離(WD)密切相關。工作距離小時,電子束的張角與像差較小、束斑較細,可獲得較高解析度,適合高倍率觀察;表面光滑的試樣訊號單純,縮短工作距離亦有利於提高倍率下的成像品質。工作距離大雖景深較長、適合粗糙試樣的低倍觀察,但解析度較差。光圈大小屬另一項調整參數,本題所問為工作距離的選擇。
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